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建造洁净厂房的能耗与成本如何计算 二维码
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发表时间:2020-11-29 13:19 加拿大28单双算法 由于洁净室树立费用很高且不同洁净等级的树立费用相差较大,因而,在洁净室设计过程中,设计师不只需求合理安置工艺设备以尽量削减洁净区的面积,而且也要针对不同的消费环节设置不同的洁净等级。 目前,12英寸集成电路芯片制作工厂普遍选用"开放式洁净室加微环境"的方法,将芯片制作过程中对空气洁净度恳求十分严厉的硅片加工过程安置在1级-4级的微环境装置内,而开放式洁净室的洁净度等级只需5级-6级,这样就有效地降低了树立/运营出资以及能耗。 在我国,洁净厂房的能源耗费是相当大的。能源耗费首要用于消费设备用电和用热、净化空调体系的耗电/耗热和冷负荷、冷冻机组的耗电、排气装置的耗电和耗热、超纯水和气体的制取和保送以及共用设备和照明的用电等。 为抵达洁净室恳求的空气洁净度等级,洁净室的循环风量很大。一般空调房间的每小时换气次数只需求几次,而洁净室每小时换气次数抵达10次~600次。由于技术的缘由,我国的洁净室在能耗方面又高于欧美兴隆国度。 |
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